概述

半導(dǎo)體制造工廠、納米技術(shù)中心、納米工廠和其他精密制造和研究中心通常將潔凈室與活動假地面系統(tǒng)結(jié)合在一起，以滿足復(fù)雜的設(shè)施要求（管道、電纜、燃?xì)夤艿赖龋┖捅３謬?yán)格的清潔標(biāo)準(zhǔn)。這種地面不適用于對振動敏感的生產(chǎn)、檢測和計(jì)量設(shè)備?；顒拥孛鏌o法為這些工具提供必要的安靜振動環(huán)境。TMC的Quiet Island用一個(gè)固定在下面底層地面上的“安靜島"替換一部分活動地面區(qū)域，提供了一種創(chuàng)新的解決方案。Quiet Island包括一個(gè)兼容潔凈室的平臺頂部和一個(gè)應(yīng)用和現(xiàn)場特定的支撐結(jié)構(gòu)。

 

 

消振

Quiet Island**的主要支撐元件和核心技術(shù)都集成在STACIS III主動消振系統(tǒng)中。這種“剛性"式慣性消振支撐系統(tǒng)是任何振動敏感型儀器的理想選擇，它使此類工具能夠在嘈雜的環(huán)境中以**高標(biāo)準(zhǔn)運(yùn)行。STACIS III兼容自動化晶圓加工工具、高分辨率電子束成像工具、離子束銑削工具以及任何帶有被動或主動內(nèi)部隔振系統(tǒng)的工具（請參閱我們關(guān)于在主動隔振器上堆疊主動隔振器的）。此外，它還提供了**寬頻率范圍內(nèi)的**隔振性能。并且“硬安裝"設(shè)計(jì)非常堅(jiān)硬，因此對于較高、上重下輕的工具，不會出現(xiàn)穩(wěn)定性問題。

 

立管和支架

用于支撐STACIS隔振器的極其堅(jiān)固耐用的立管由TMC經(jīng)驗(yàn)豐富的工程團(tuán)隊(duì)設(shè)計(jì)，并由我們的ISO 9001工廠按照高標(biāo)準(zhǔn)和焊接認(rèn)證規(guī)格制造。每個(gè)Quiet Island都經(jīng)過精心設(shè)計(jì)，適合各種活動地面高度、底層地面幾何形狀和工具尺寸。TMC在安裝了數(shù)千個(gè)支撐200多種不同儀器型號的裝置，擁有豐富的知識和經(jīng)驗(yàn)，可以設(shè)計(jì)滿足STACIS和您設(shè)施需求的支撐結(jié)構(gòu)。

 

剛性平臺

該平臺由一個(gè)經(jīng)TMC設(shè)計(jì)和制造的4英寸（100毫米）厚的鋼板夾層組成，其中鋼板夾在一種輕質(zhì)、不可壓縮、阻尼的芯材料周圍。剛性鋼板和芯用環(huán)氧樹脂粘合到一個(gè)無縫不銹鋼盤中的分層效果提供了的剛度和結(jié)構(gòu)阻尼。大橫截面和鋼含量產(chǎn)生了非常高的整體剛度。頂部和側(cè)面是一個(gè)連續(xù)的一體式不銹鋼外殼，以保持清潔、美觀和完整性。TMC可根據(jù)需要設(shè)計(jì)和制造特定于應(yīng)用的平臺，包括切口、特殊形狀、固定孔和吊環(huán)螺栓。

 

Quiet Islands vs. Quiet Buildings

Designing a facility to meet the stringent Vibration Criteria of extremely precise imaging equipment can be very challenging, and often cost-prohibitive, particularly when not all tools in the facility require these very low vibration levels.[1]

 

Statistical representation (in terms of Mean plus Sigma Spectra) of vertical vibrations in a typical semiconductor fab production area at "as built" and two times thereafter [2]

 

It is very difficult to isolate very large areas such as entire buildings, or an entire floor. It is also well documented that building vibration levels will increase relative to a design specification as the facility is populated with equipment and people. Repeated vibration measurements a few months, or a year later, show that floor vibration levels typically rise over time.[2]

The more cost effective and successful approach for achieving the stringent requirements of vibration sensitive tools, is to employ point-of use active vibration control with serial piezoelectric technology, particularly to mitigate challenging low frequency (less than 5 Hz) vibration (example here).

TMC can work with the your team to design a tool-specific Quiet Islａnd solution. This process allows us to look at each tool specifically and provide the best performing solution. A building design incorporating one large concrete sub-floor “slab" with a “raised floor" allows for flexibility of tool selection post-construction. Replacing the raised floor with a Quiet Islａnd only where needed provides the most sensitive tool set with a vibration environment an order of magnitude, at least, lower than the sub-floor.

See also The Benefits of Including Floor Vibration Control for Nano-Tech Facilities over Designing "Quiet" Buildings article on AZO Nano.

1Evolving criteria for research facilities: I – Vibration, Colin Gordon Associates, SPIE Conference 5933: Buildings for Nanoscale Research and Beyond, 2005, Source

2Maturation of the Vibration Environment in Advanced Technology Facilities, Colin Gordon Associates, Journal of the IEST, V. 48, No. 1, 2005, Source

 

Quiet Island的優(yōu)勢

采用STACIS - TMC業(yè)界**的主動壓電消振技術(shù)、“硬安裝"設(shè)計(jì)和始于0.6 Hz的隔振與內(nèi)置隔振器的工具兼容。

模塊化、定制和重新定位的靈活性 - 每個(gè)平臺都根據(jù)客戶的應(yīng)用量身定做，但與混凝土平臺不同，如果工具或地面特性發(fā)生變化，這些平臺可以很容易地重新進(jìn)行配置。

專業(yè)知識 - TMC擁有與**的半導(dǎo)體制造商、科研機(jī)構(gòu)和超精密OEM合作的豐富經(jīng)驗(yàn)。我們了解客戶及其需求。我們自己設(shè)計(jì)和制造。

 

性能

 

規(guī)格

性能規(guī)格

 

隔振器設(shè)計(jì)、尺寸、環(huán)境和效用要求

 

DC-2020控制器規(guī)格

 

其他參數(shù)

 

其他Quiet Island配置

不具有環(huán)境振動規(guī)格的大型儀器通常需要一個(gè)與活動地面分開的剛性且穩(wěn)定的支架。剛性Quiet Island是理想的解決方案。剛性Quiet Island具有相同的高性能平臺頂部，也可為任何高度、任何底層地面幾何形狀的活動地面潔凈室以及各種工具尺寸定制設(shè)計(jì)。TMC提供一系列不同類型的支柱，以滿足各種需求，從而形成了特定于儀器和工廠的模塊化、可靈活地重新定位和升級的解決方案。

 

 

應(yīng)用照片

 

 

 

 

 

由于安裝在我們Quiet Island®底層地面平臺上設(shè)備的復(fù)雜性、敏感性和價(jià)值，我們未創(chuàng)建用于訂購的標(biāo)準(zhǔn)目錄號。

我們認(rèn)為應(yīng)為特定應(yīng)用定制設(shè)計(jì)每個(gè)平臺。建議的訂購步驟如下：

? 告訴我們您要隔離的設(shè)備或儀器。由于我們已安裝了成千上萬的裝置，我們可能已有滿足您應(yīng)用要求的平臺設(shè)計(jì)。此外，我們還與步進(jìn)器、對準(zhǔn)器、SEM和其他工具制造商保持密切聯(lián)系，因此，我們了解**新的尺寸、形狀、重量變化和地面振動規(guī)格。

? 或者，您可能想要一個(gè)適合活動地面網(wǎng)格系統(tǒng)的平臺。客戶通常選擇47 x 47英寸（1,190 x 1,190毫米）的平臺來替換偶數(shù)塊地磚。

? 告訴我們您的活動地面高出堅(jiān)實(shí)底層地面的高度。

? 請向我們描述或提供一個(gè)顯示您底層地面或鋼梁/格子板幾何形狀中的任何孔圖案的插圖。

? 請向我們提供地面振動數(shù)據(jù)或與我們討論如何安排測量這些數(shù)據(jù)。

? 考慮儀器的振動靈敏度。我們的剛性、非共振支柱設(shè)計(jì)為許多工具提供了充分的支撐。更敏感的應(yīng)用將需要空氣或壓電支撐